400-900-9093
產品的陳述:
名稱:閥門分配箱(Valves Manifold Box)
規格:一進多出
型號:HSPVMB130602
■ 特氣(qi)柜尺寸(cun):W550寬×D500深×H600高(gao)
■ VENT排(pai)空管(guan):1/2MVCR接口
■ 工(gong)藝(yi)氣體(ti):1進N出(N=2~9)
■ 盤面規格:1/4"盤面
■ 標準配(pei)備:防爆防腐柜體(ti),防爆自鎖門,防爆玻璃觀(guan)察窗(chuang),泄(xie)漏(lou)報警,主材SS316L
■ 箱體換(huan)氣(qi)量:4"排氣(qi)口,SiH4-1200次/小時,其(qi)余300次/小時
■ 選配:外吹掃,抽真空,全(quan)自動(dong)控制,工藝氣體超壓報(bao)(bao)(bao)警(jing),遠程切斷,盤(pan)面加熱(re)及溫控裝置(zhi),泄漏報(bao)(bao)(bao)警(jing),報(bao)(bao)(bao)警(jing)信號手(shou)機短信與電話(hua)通知
■ 適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻(ke)蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室(shi)、材(cai)料分析實驗室(shi)、芯片(pian)半導(dao)體、光伏(fu)太(tai)陽能(neng)電(dian)池、生物醫藥工程、微電(dian)子新材(cai)料等行業。
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