名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

　　規格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜規格尺寸：W550寬×D500深×H600高　　■ VENT排凈管：1/2MVCR插孔　　■ 加工過程有毒氣體：1進N出(N=2~16)　　■ 股市k線圖型號規格：1/4"股市k線圖　　■ 規定搭載：防火型防腐涂料移門衣柜，防火型自鎖門，防火型安全玻璃觀擦窗，流出報警聲音，主材SS316L　　■ 機柜通風量: 4"泄壓閥口，SiH4-1200次/小的時候，任意300次/小的時候　　■ 加裝音響：外吹掃，抽蒸空，全系統自動管控，工藝設計氣味過載報警功能，即遠程掐斷，股票盤面蒸汽加熱及溫度控制系統，漏糞報警功能，報警功能數據信息智能手機發短信與電話號通知怎么寫

　　適用范圍：應(ying)用(yong)在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套(tao)設備上(shang)，適用(yong)于高校實驗室、材(cai)料分析(xi)實驗室、芯(xin)片半導體、光(guang)伏(fu)太陽能電池、生(sheng)物醫藥工程、微電子新材(cai)料等行(xing)業。