名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

規格：一進多出

型號：HSPVMB130602 

■ 特氣(qi)柜尺寸(cun)：W550寬×D500深×H600高(gao) 

■ VENT排(pai)空管(guan)：1/2MVCR接口 

■ 工(gong)藝(yi)氣體(ti)：1進N出（N=2~9） 

■ 盤面規格：1/4"盤面

■ 標準配(pei)備：防爆防腐柜體(ti)，防爆自鎖門，防爆玻璃觀(guan)察窗(chuang)，泄(xie)漏(lou)報警，主材SS316L

■ 箱體換(huan)氣(qi)量:4"排氣(qi)口，SiH4-1200次/小時，其(qi)余300次/小時 

■ 選配：外吹掃，抽真空，全(quan)自動(dong)控制，工藝氣體超壓報(bao)(bao)(bao)警(jing)，遠程切斷，盤(pan)面加熱(re)及溫控裝置(zhi)，泄漏報(bao)(bao)(bao)警(jing)，報(bao)(bao)(bao)警(jing)信號手(shou)機短信與電話(hua)通知 

■ 適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻(ke)蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室(shi)、材(cai)料分析實驗室(shi)、芯片(pian)半導(dao)體、光伏(fu)太(tai)陽能(neng)電(dian)池、生物醫藥工程、微電(dian)子新材(cai)料等行業。