CVD設備的scrubber的功能原理及其安裝位置，scrubber有什么作用，scrubber有根據工作原理分為哪幾種，scrubber通常安裝在什么位置？

嚴格控制進入潔凈室的人員數量，由潔凈室專職管理人員、企業負責人共同確定潔凈室的操作人員數量， 一經商定必須嚴格控制；嚴格控制臨時進入潔凈室的維護、檢測人員和其他人員，如參觀者等，臨時進入者必須辦理申請、批準手續并佩帶進出

實驗室集中供氣就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房,氣瓶通過減壓閥和輸氣管道將氣體輸送到各個實驗室(即儀器端),其流程如下

實驗室集中供氣系統要求

SiH4管道采用雙套管連接方式，內管使用SS316L EP（電子拋光）不銹鋼管，外管采用SS316LBA不銹鋼管，三通采用成品雙套三通，彎頭為套管自動焊接，內外管道連接采用自動軌道氬弧焊；設備、閥門無法蘭、卡套或螺紋連接， 終端隔膜閥采用VCR接頭

一個好的實驗室通風系統工程的重要性