氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　特出的有機廢氣氣體的類別一半可可分成銹蝕性、致毒、可燃性、助燃性、惰性等，一半較為常用的半導體芯片的有機廢氣氣體總類以下的：　　一、耐具有腐蝕性的/毒素：HCL、BF3、WF6、HBr、SiH2CL2、NH3、PH3、CL2、BCL3...等　　二、可燃性：H2、CH4、SIH4、PH3、AsH3、SiH2CL2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO... 等　　三、助燃性：O2、CL2、N2O、NF3...等　　四、惰性：N2、CF4、C2F6、 C3F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He...等

　　特殊氣體供氣方式

　　特殊的甲烷有毒氣體的現貨供應方法截止日期日前說不定，近乎皆用設備的方法采取，一樣長用的為油田設備，但依其插入的甲烷有毒氣體性能特點有可分類氣態與等離子態設備，

　　1、氣態設備：其安置阻力亦高，其他空氣以氣態儲存于設備內﹔低液體壓的其他空氣則以等離子態儲存于設備內。　　2、溶解式氣休吸收氧氣瓶：即所說的的安會直流髙壓供氣(SDS,Safe Delivery Source)，可藉由材質如沸石和物理粘附性碳正確看待定的氣休如PH3、AsH3、BF3、SIF4等開始力學溶解，以氣休氧分子與溶解劑間的瓦力將氣休溶解于溶解劑的孔隙度重，其長處為直流髙壓壓力值遠低于—層結壓，無信息泄露之后。

　　氣態鋼瓶和吸附氣體儲存鋼瓶安全性對比

　　經實驗設計最終，如果流出亦不繼有爆款或引致就可以了的影響體內的有毒實驗室氣體濃硫酸濃度，實用性性佳，況且供貨商量有傳統意義髙壓瓶的數倍至二十余倍。然該種燃氣管道安裝始終無法 實用于近年很多的半導體行業實驗室氣體，亦少晶圓廠實用該種程序確定國家低效式的供貨商方試，這樣從文中將對不上其多作小組討論，僅要求該種供貨商方試的顯著特點供大學生群體關聯性。

　　特殊氣體應用流程

　　對於灼傷性、致毒、然燒性的乙炔氣，往往情況下包含將氧氣瓶至于氣瓶柜(GAS Cabinet)內，再映出壓縮空氣管將乙炔氣銷售至實地附過的閥箱(VMB,Valve Manifold Box)，之后再開始工藝機臺的便用電(Pou,Point Of Use),于開始機臺腔體前幾天，可能會有獨有的乙炔氣操控盤(GB,Gas BOX)與工藝操控板塊聯機，以質流操控器(MFC,Mass Flow Controller)開始數據流量之空調的與進氣的混和配比操控，往往情況下此乙炔氣操控盤不專屬于廠務系統性的的設計層面，可是權屬工藝機臺機械的是一部門。　　基本上的惰性空氣則是以對外開放性的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP,Valve Manifold Panel) 實施出售。簡略的描敘與探討將在下節實施，當下僅舉一非常簡單的兩者有所不同供汽步驟流程未來規劃的實列