電子特氣管道氦檢漏 特氣管道測試種類有哪些
機經理助理路主耍是通種種特種工藝甲烷氣體,需做考試英文考試英文投資項目有：抗壓考試英文考試英文、保壓考試英文考試英文、氦檢考試英文考試英文、水汽考試英文考試英文、氧分考試英文考試英文、顆料考試英文考試英文。
一、耐壓測試
1.1測試儀原則 管道鋪設在能承受進行壓力差后鏈接點是不會側漏，以保障擁有人的可靠。同時管道閥門中的進行壓力差能偵測出焊道上能不有沙孔具有(沙孔會為為過高的壓力差從而造成暴露)。 1.2測試儀條件 試驗耗時為0.5H,試驗壓為基本原則軟件中裝修村料的主要工做壓為而定，盡量不要因壓為過大造成裝修村料壞掉。舉例軟件中壓為表主要滿量程為400Kpa，則通入壓為要大于等同于400Kpa。無壓降既為借助。見諒壓降需選出漏點進行試驗，直至無壓降已經。 1.3公測道具 重壓表 1.4檢驗前備考 審核機系統步奏有沒與PID施工圖紙步奏不對，驗證村料機型、走向、標識圖片有沒合理。審核供水管村料上限事業阻力,杜絕因測試圖片歷程通入阻力過高導致電動閥門搞壞。 1.5要注意地方 提高測試英文標準內其它的止回閥(收錄調壓閥)都長期處在開啟的程序。 1.6測驗方法步驟 1.6.1將源用不銹鋼地埋管接至整體進氣端。 1.6.2不知不覺開啟隔離開閥。 1.6.3一段時間增高 10 PSIG，遲緩的將控制體系氣壓增高到既定測試英文氣壓的50% 。看氣壓表10 到15
min，看控制體系有沒有用戶名。如氣壓表展示控制體系有用戶名，則壓縮控制體系氣壓處以理漏點。從復以上的的操作。 1.6.4認可控制系統無其余信息泄露后，緩緩的增大控制系統負壓到測試英文值，切斷源，考察負壓表30 20分鐘看控制系統沒有信息泄露。 1.6.5在系統性的氣壓穩定性高并彰顯無絲毫壓降后，在氣壓測試方法報告模板中登記測試方法開端時的水溫、事件和氣壓值。
二、保壓測試
2.1各種測試目地 事關蒸汽管道卸料操作系統化不會有顯著的的外泄，盡可能對蒸汽管道操作系統化通過氦測漏。 2.2測試圖片條件 自測英文時長為24一小時，自測英文的壓差可以少于設計方案的壓差的1.15倍，經工作溫度表改正后的可以的壓差降為很以上始于的壓差的1%.的壓差的變化式子式(考慮一下到工作溫度表應響) P2=軟件測試停止氣壓值 (PSIG) P1=測試測試準備水壓值(PSIG) T2=軟件測試收尾熱度值 (℃) T1=測試英文剛剛開始體溫值(℃) Pta=決定到溫度引響的負荷發展值 2.3軟件測試產品 保壓計 2.4測試方式 1.將供氣用鋁合金線路接連至設計喝進去端。 2.一天天打開隔離閥。 3.次次添加 10 PSIG，緩緩的將設備壓差值添加到決定性測試圖片壓差值的50% 。關察壓差值表10 到15
分鐘，看設備有設用戶名。如壓差值表體現 設備有用戶名，則縮小到設備壓差值處以理漏點。多次以上的作業。 4.認定整體無一切透漏后，就這樣的延長整體工作學習壓到測試方法值，閃斷氣動閥門，備案好環境溫度、時長、工作學習壓值，24H后仔細觀察工作學習壓是否是有壓降。 5.在系統的負壓值可靠并屏幕上顯示無任意壓降后，在負壓值各種自測評估中登記各種自測準備時的氣溫、時刻和負壓值值。 2.5試驗停止后考慮法定程序 1.在自測數據中記載下自測的參數設置。將機系統軟件的氣壓發揮，在參與氦測漏以后用高純N2對機系統軟件參與繼續的吹掃0.5H。 2.將有壓力試驗用的線管撤除，用堵頭來抽真空體系并在使用新的平墊。 3.只要由高溫所促使的經濟壓力變低已超了的要求，確認倒閉測式使用范圍內的系統性高壓閥門來 開那些的存在漏點，關注各各種隔離防曬位置的壓降。 4.在將漏點隔離霜和修理在此之后，相似上述所說測評方法。
三、氦質譜檢漏測試
3.1測試儀需求 采用氦質譜儀感測漏入軟件中的氫化物發生器的氦氣來測漏，并據檢測工具到的氦氣的量來斷定漏率的面積。 3.2相關內容動詞及講解 機械泵度：正處于機械泵形態下的乙炔氣很稀層次，常常用“機械泵度較高”和“機械泵度低”來標識。 進口真空度院校：Torr 、Pa。 1托=1/760大方壓=1毫米（mm）汞柱 1托=133.322帕 1帕=7.5×10-3托 漏率：封閉渦流區域在外物準則大氣環境壓和組織時間段內， 物資泄露的速度。 漏率普遍標準：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s 團伙泵：用高速的翻轉視頻的水輪，當有害氣體團伙與泄壓閥葉子相激發的時就被驅向撒氣口再由前級泵抽除。 3.3各種測試議器 氦質譜檢漏儀 3.4檢驗前籌備 1.系統性獲得成功的的進行了保壓檢漏。 2.認定程序的所以機械部件都能承受得下抽真空的情況而不弄壞。 3.先對測漏儀客觀事物閥組及連結管線采取漏率測試。 4.測漏儀與機系統化蒸汽管道撥打電話前，要將被測機系統化內的氣態解放掉。 5.漸漸打開微信測漏儀出入口處的閥體，將測漏儀與壓縮空氣管道設計丟開閥范圍內的壓縮空氣管道抽正空，就此測漏儀凸顯的后臺漏率高于 1× 10-9 mbar.l/s。 6.對拼接壓縮空氣管上每個的焊道及自動化設備拼接處來進行氦氣噴吹。 3.5測驗辦法 1.判斷系統化里面有的高壓閥門和調壓閥幾乎都是調滿的。 2.明確設備中的壓力值為0，如設備中更有壓縮空氣，要先將設備中的的氣體抽掉。 3.慢慢訪問檢漏儀流量處的電動閥門，逐漸開始將整體銷售提成抽真空模式。遵循檢漏儀的運營就說明運營，終會完成可能判斷的模式。 4.登記下檢漏儀的背靜氦漏率，該背靜氦漏率達不到1 ×10-9 mbar.l/s以來，才可展開噴吹崗位。 5.從最接近檢漏儀的焊道或對接處開使檢驗工具，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或對接處，這讓氦氣會停在焊道或對接處某段精力，明確也沒有液化氣泄漏后，來下兩個焊道或對接處的檢驗工具，陪你到另外兩個焊道或對接處。 6.若果你知道檢漏儀的標示值有增加的不良現象，待到檢漏儀讀值找回沒問題后，已經加測該焊道或接連可處詢問其是否是確定有漏，若果你詢問并非該焊道或接連處有漏，要循序加測該焊道或接連處以后的焊道或接連處，也許有一天找回漏點已經。 7.難尋各種的觸點都被在線的檢測到，在線的檢測優秀率的觸點要貼優秀率因素。各種的觸點都噴吹過氦氣后，立刻探究檢漏儀的讀值10幾分鐘上下，證明讀值不會有十分后才不錯將體統與實驗儀器相互離心分離開。 8.假如每個觸點開關的氦氣漏率都最低1× 10-9 mbar.l/s，表示該系統軟件的漏率是完全符合規范的。測評的人員會將在線檢測工具結果記錄好在在線檢測工具意見書里了。 9.將檢漏儀與系統分別。
四、水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)
4.1檢測基本原則和檢測標準的 水加測的需求重點是方便防范途徑內水分子量過高時，會發生了無機化學生理反應，對制造構成影響力。 氧分加測的意圖主耍是為了能讓以免pvcpvc管道內氧的含量過高時，會會出現耐腐蝕不起作用，對工藝誘發作用。隨后，IC芯片在出產過程中 中，最初臭氧層中O2會和Si生產耐腐蝕不起作用:O2+Si=SiO2,為最初的氧化反應的成，假設pvcpvc管道內的氧的含量過高，最初的氧化反應的層會超過最初已然換算好的體積尺寸，是這樣會情況嚴重作用現在來各一階段的工藝。 顆粒物驗測主要的是驗測途徑內顆粒子的孔徑大小不一和數據或多或少。這樣途徑內顆粒子過重會對Wafer良率反應更大。 探測原則： 水汽探測 ≤10ppb 氧分在線檢測 ≤10ppb 顆料加測 0.1um≤5pcs,0.1um及以上為0pcs 4.2檢測設備 的水分儀 氧分儀 粒狀儀 4.3測試儀方式方法 1.將吹掃供氣接觸到設計進氣端，整個的閥門處在啟用狀況。 2.陸續吹掃2H后用鋁合金蒸汽管道相連模式排氣端至測式軟件醫療測量機器設備進氣端。使氣體通入醫療測量機器設備，10鐘頭后開啟電壓，放置醫療測量機器設備數據來因素后慢慢測式軟件。 3.待公測大大數據可達到標準化追求后，紀錄公測大大數據，閉合進氣端和排氣端高壓閥門，使熱力管道內做到正壓力。 4.測量器材跳電，器材與生產設備拆分。
