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新項目闡述
　　　特氣設計環保設施機 為整潔室里全部的加工過程環保設施機 給予需要的的加工過程空氣，是分層結合化網站必必不可缺的關鍵環保設施機 ，應屬于分層結合化網站的體系化輔助裝備，將支持力光電材料水平實訓基地科研課題和上課。本環保設施機 的基本建筑這對于電子無線水平課題與水平和光電技術建筑項目課題基本建筑有決定性的作用，年利用機時不高于3000 小的時候。


　　此項目空氣不一樣總計有25種，含17種毒腐/易然爆/極具有很大的風險防化空氣和8種常見高純空氣。運行環境全重新特氣柜GC、全重新氣瓶架GR、防化空氣VMB、防化空氣VMP、管網網氣力運輸機平臺(包含雙線管管網網氣力運輸機平臺)、第二次配、印刷廢液廢渣治療機器設備Scrubber、人生安全的平臺GMS、自然通風及印刷廢液治療。





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