電子特氣系統氣體及管路的維護

　　電子特氣系統氣體及管路的維護

　　會因為特氣設備軟件也是種還具有高危分析的出產設備軟件，從而在出產線實地現場的維持必須 專注、有經驗的高技術工實現。特氣設備軟件的維持重要含有特氣柜維持和聚氨酯保溫管維持。

　　特氣柜維護

　　特氣柜又包含全自然特氣柜與半自然特氣柜，各種氣柜的保障的方式有條定的分別。全自然氣柜保障自然化地步較高，或者安全防護靠譜。在保障前倒閉瓶銅閥，設遷移瓶吹掃，流程自然進行抽氣，遷移等姿勢，通過汽體成分的其他，一般的應為吹掃60次及綜上所述，氣體壓力保壓30分鐘及綜上所述，確認氣柜各管道伐門與銅閥吹掃徹底。

　　電子特氣系統管路維護

　　內部管網的定期維系，在不同的的空氣成分不相似，對內部管網定期維系的措施也是雷同，對腐燭性空氣的管網需2次用高純N2吹掃(N2purge)，基本不少于間斷性30次，在有粘附性的液態氨源空氣，在內部管網簡易 堵死，需2次的間斷性的抽抽真空室，抽完后開起單向閥，1個小時之后可能會冒出有氣壓表回表的后果，會可能會導致管網信息泄露的誘導，會遇到此環境打開文檔抽真空室器發生了器持續抽，終會未粘附空氣施放已經。　　以下幾種設計保護后都都要做壓縮空氣與真空的保壓檢驗，大部分壓縮空氣保壓負擔為操作負擔的1.2倍，真空保壓為-12PSI，保壓時候大約1205分鐘以下，是由于負擔感知器(PT)受濕度的影響到，大部分有2PSI的正負符號上下波動。